突破性进展| 金刚石热沉片助力先进封装散热

金刚石是目前已知材料中热导率最高且其热膨胀系数很低，，具有良好的电绝缘性，，，非常符合电子封装材料的应用要求。。如何将金刚石这些优点应用到电子器件的散热中成为研究热点。。。。

近日中国研究团队在先进封装玻璃转接板集成芯片-金刚石散热技术领域又取得突破性进展。。
。成果显示该团队克服了微凸点保护
、、
、、晶圆翘曲等行业难题，，，成功将多晶金刚石衬底集成到2.5D玻璃转接板（Interposer）封装芯片的背面，，，，并采用热测试芯片（TTV）研究其散热特性。
。。利用金刚石的超高热导率
，
，在芯片热点功率密度为~2 W/mm2时，，，集成金刚石散热衬底使得芯片最高结温降低高达24.1 ℃，，，
，芯片封装热阻降低28.5%。。。。先进封装芯片-金刚石具有极为优越的散热性能，，，基于金刚石衬底的先进封装集成芯片散热具有重大的应用前景。。
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多晶金刚石衬底集成到玻璃转接板封装芯片背面及其散热性能表征

 这项研究将金刚石低温键合与玻璃转接板技术相结合，
，，首次实现了将多晶金刚石衬底集成到玻璃转接板封装芯片的背面。
。该技术路线符合电子设备尺寸小型化、、
、重量轻量化的发展趋势，，，同时与现有散热方案有效兼容，
，，成为当前实现芯片高效散热的重要突破路径，，并推动了金刚石散热衬底在先进封装芯片集成的产业化发展。。

商界采用mpcvd法制备大尺寸、、、高品质金刚石，，目前已有成熟产品:金刚石热沉片、、、、金刚石晶圆、、、金刚石窗口片、、金刚石异质集成复合衬底等，，，，其中金刚石热沉片热导率（1000-2200W/m.k)，，，，晶圆级金刚石表面粗糙度Ra<1 nm，，
，
，在散热领域中应用广泛，
，，
，包括高功率半导体激光器、、光通信、、芯片散热、、核聚变、、航空航天等领域。。。
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