超高功率LED有源区的功率密度极大,,,,达到了1kW/cm2甚至更高。。传统外延层常用的衬底是蓝宝石、、、、碳化硅和硅,,,,热导率在25-400W/(m·K),,,即使使用碳化硅衬底,,,,也只能低于200W/cm,,,,散热问题成了超高功率LED器件发展的最大的技术瓶颈。。。金刚石热沉片热导率达到2000W/(m·K),,,是理想的散热材料,,,,可以降低器件热阻,,,,提高功率密度,,,是制造大功率LED的绝佳材料。。

图片1 超高功率LED
在电子学上,,金刚石具有许多优良的电气性质,,,如:5.45eV的宽带隙,,10MV/cm的高击穿电场。。。。金刚石的击穿电压比硅高514倍,,,,而6H-SiC、、、4H-SiC和GaN则分别比硅高56、、46和34倍。。器件的工作温度大于500℃,,,,在高功率、、、高温度和恶劣环境工作的器件应用前景广阔。。
在热学方面,,,金刚石的热导率高达2000W/(m·K)。。。由于生长工艺的特性,,多晶结构的金刚石薄膜的组织呈微小的柱状结构,,如图(a)所示。。。其热导率具有高度的各向异性,,如图(b)所示。。
图片2 各向异性的CVD金刚石薄膜
性能测试:
金刚石热沉片的散热性能通过测量集成在其表面的LED的工作温度来进行衡量:将沉积有金刚石薄膜的Si片表面直接用来封装LED发热单元,,,然后进行测试,,,测试方法为给LED器件施加相同的电耗功率,,然后记录不同时间LED器件表面的温度(A系列有金刚石膜散热层,,,B系列没有),,,,以衡量金刚石膜散热层的散热效果。。。。如果没有散热层,,直接将LED 封装在Si表面,,温升比有散热的层速度快很多,,,测试结果如下:
图片3 样品的散热测试结果
显然,,在有金刚石膜散热层的A系列在同样长短的时间内温度降低得更快,,说明金刚石膜具备更好的的散热效果。。。。
金刚石热沉片是大功率LED散热的绝佳材料,,商界专注于高质量金刚石的生产与制备,,持续推动金刚石热沉片在大功率器件散热研究,,核心产品有晶圆级金刚石、、金刚石热沉片、、金刚石窗口片、、金刚石基异质集成复合衬底等,,,,金刚石热沉片热导率达1000-2000W/m.k,,,将助力大功率LED轻松破解散热难题。。