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金刚石热沉片——大功率器件的福星!!!

时间:2023-01-04浏览次数:1158

当前,,,大功率电力电子器件正朝着高功率水平、、高集成度的方向发展,,因此散热问题不可避免的受到关注。。大功率半导体器件工作时所产生的热量会引起芯片温度的升高,,若没有合适的散热措施,,,,会导致芯片的工作温度超过所允许的最高温度,,,,进而引发器件性能的恶化甚至损坏。。。。已有研究表明,,半导体芯片的温度每升高10 ℃,,,,芯片的可靠性就会降低一半,,,器件的工作温度越高,,,,器件的生命周期越短,,,,因此降低器件温度是延长其生命周期的有效方法。。


金刚石具有带隙宽、、、、热导率高、、、击穿场强高、、载流子迁移率高、、、、耐高温、、、抗酸碱、、抗腐蚀、、、、抗辐照,,,,优越的性能使其在高功率、、、、高频、、高温领域等方面发挥重要作用,,,可以说,,,金刚石是目前最有发展前途的半导体材料之一,,其经典的应用场景包括金刚石热管理材料。。

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图1    各种材料的性质对比


如上图,,金刚石的热导率高达2000W/m.K,,,在这些材料中表现出最好的散热效果。。。采用金刚石热沉片,,,,可有效解决散热问题,,,,并可在相同尺寸下提升大功率器件的性能,,,,此外,,金刚石可沉积在硅、、、、玻璃、、、、蓝宝石和金属衬底上,,,,有望重新激发功率器件的微处理器运算速度的演进,,,,此前,,,,由于无法有效散热,,,,功率器件的运算速度在5GHz左右已徘徊了十年。。对于硅材料5GHz是一个极限,,,,因为更高的功耗和热点会将器件的处理器化为泡沫,,,而金刚石有着22倍于硅、、5倍于铜的热传导能力,,,能将处理器的运算速度达到新的高度。。


商界专注于金刚石材料的研发、、、生产和销售,,,现有金刚石热沉片、、、、晶圆级金刚石、、、金刚石基氮化镓、、金刚石基氮化铝等产品。。。其中,,,晶圆级金刚石生长面表面粗糙度 Ra < 1 nm,,,呈镜状光泽;金刚石热沉片热导率更是达到1000-2000W/m.k,,高度符合作为大功率器件散热材料的生产要求。。目前金刚石热沉片已广泛应用于激光二极管和激光二极管阵列、、、光学平面集成电路模块、、高亮度发光二极管。。               

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