自新冠肺炎疫情爆发之后
，，，深紫外UVC杀菌消毒市场需求大爆发，
，，AlGaN（铝氮化镓）基UVC LED在医疗设备
、、白色家电、、、、工业水处理设备、、、、污水处理设施、、食品加工与包装、
、、、生化探测等领域应用潜力巨大。。当前，
，，在低成本的衬底上生长高质量AIN薄膜是实现高效的AlGaN基UVC LED商用化过程中亟待解决的技术难题。。
。。由于AlN单晶生长极其困难
，，目前供应量非常有限，，，，且成本高昂，，，绝大多数UVC LED厂家是采用MOCVD工艺在蓝宝石衬底上生长AlN薄膜。。。

商界聚焦关键核心技术，，，，抢占科技创新制高点，，经过大半年时间的技术攻关，，在蓝宝石基氮化铝薄膜衬底材料制备中取得重大突破，，
，不仅实现了产品质量的有效管控，，
，大幅度提升产品品质，，，，确保产品稳定性，，还大大降低了产品成本和生产周期
。。。

商界生产的AlN On Sapphire（蓝宝石基氮化铝），，HRXRD<0.05°，，，
，Rq<1.2nm，，
，该技术水平已达国际领先
，，目前在与UVC LED企业协同下，，
，积极推进和探索终端应用以及合作模式
。。
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经客户验证表明，，，商界的高品质AlN On Sapphire能够大幅提升UVC LED产品良率和稳定性
，，助力产品性能提升。。目前商界AlN On Sapphire已处于小批量供货阶段
，
，为了积极响应急剧爆发的市场需求，，，正在加速建设中试生产线
，，该产线完工后预计年产将达2万片
，，，，届时将极大满足UVC LED对高品质AlN On Sapphire的大量需求。。
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AlN On Sapphire表征检测

AlN On Sapphire产品参数